鈰基拋光材料是一種細(xì)的氧化物，可以去除表面缺陷，在拋光過(guò)程中產(chǎn)生光滑的表面。粗糙的拋光粉不適合使用，所以需要研磨到不劃傷表面的細(xì)度。好的方法是沉淀草酸、碳酸或氫氧化物，然后煅燒成氧化物。煅燒溫度足以分解沉積物，同時(shí)防止燒結(jié)和晶體的快速生長(zhǎng)。煅燒后，通常進(jìn)行第二次研磨和煅燒。